工

艺

参

数

类别

项目

参数

备注

激光器

波长(nm)

1064

激光器3年故障换新

工作功率

30~90% 的额定功率

频率(KHZ)

40~150(可调)

脉冲长度(ns)

50~250

激光器品牌

中科院订制划片专用

激光寿命(h）

20000

电池规格

尺寸

156.5±3mm ( 单多晶 )

厚度

0.15~0.3mm

同批电池厚度差

±20um

划片工艺参数要求

划片角度/精度

80~90 度/ ±80um

采用500万巴斯勒相机12焦距镜头

划片深度

0~100%(可调)

划片深度均匀性

±10 um

线宽(um)

≤35

热影响区域(um)

单晶≤80

多晶≤100

划片后外观质量

隐裂/破片/V型缺角/划伤等≤0.1%