LGS-FB-600-2600全自动半片激光划片机
Half cell Automatic laser scribing&breaking Machine
1.2 工艺参数
工
艺
参
数 |
类别 |
项目 |
参数 |
备注 |
激光器 |
波长(nm) |
1064 |
激光器3年故障换新 |
工作功率 |
30~90% 的额定功率 |
频率(KHZ) |
40~150(可调) |
脉冲长度(ns) |
50~250 |
激光器品牌 |
中科院订制划片专用 |
激光寿命(h) |
20000 |
电池规格 |
尺寸 |
156.5±3mm ( 单多晶 ) |
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厚度 |
0.15~0.3mm |
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同批电池厚度差 |
±20um |
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划片工艺参数要求 |
划片角度/精度 |
80~90 度/ ±80um |
采用500万巴斯勒相机12焦距镜头 |
划片深度 |
0~100%(可调) |
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划片深度均匀性 |
±10 um |
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线宽(um) |
≤35 |
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热影响区域(um) |
单晶≤80
多晶≤100 |
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划片后外观质量 |
隐裂/破片/V型缺角/划伤等≤0.1% |
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