设

备

参

数

类别

项目

参数

备注

设备

对位精度

±80um

划片速度

600MM/S  单次划片可掰

掰片模式

自动掰片

划片模式

1/2 片

料盒数量

四套上下料盒

除尘装置

激光专用粉尘净化机

产能

≥2600整PCS/H

整片

不良率

≤0.1%

破片

设备故障率

≤2%

故障率=故障维修时间/计划工作时间